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질량분석기를 이용한 디플럭스 세정제의 조성확인 및 정량분석 방법
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 조성희 |
| 기술내용 | 본 발명은 질량분석기를 이용한 디플럭스 세정제의 조성확인 및 정량분석 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 질량분석기를 이용하여 반도체 공정에서 플럭스의 제거에 사용되는 디플럭스 세정제들의 조성을 확인하고 각 조성 물질의 함량을 정량분석 하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 성분과 함량이 알려지지 않은 디플럭스 구성 성분 및 함량을 기체 혹은 액체크로마토그래피-질량분석기를 사용하여 찾아냄으로서, 디플럭스 종류에 따라 성능 및 효율 차이의 원인을 규명할 수 있을 뿐만 아니라 더 효과적인 디플럭스 제조 연구에 이용될 수 있다. | ||
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