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분리막 모듈 및 이를 포함하는 불화가스 분리농축장치
| 대표분류 | 분리/혼합 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 박유인 |
| 기술내용 | 본 발명은 분리막 모듈 및 이를 포함하는 불화가스 분리장치에 관한 것으로, 상세하게는 투과구 및 배출구를 포함하는 중공사막(hollow fiber membrane) 분리막 모듈에 있어서, 다공성 격막을 내부에 포함하여 상기 격막에 의해 분리막 모듈 내부가 복수개의 구획으로 구분되되, 구분된 복수개의 구획들은 격막의 기공에 의해 동일한 압력을 나타내고, 상기 다공성 격막의 기공으로부터 나온 투과기체가 모듈의 투과구를 통하여 배출되도록 구성된 것을 특징으로 하는 분리막 모듈을 제공한다. 본 발명에 따른 분리막 모듈 및 이를 포함하는 불화가스 분리장치는 감압에 의해 분리가 수행될 기체를 분리막 모듈로 유입시키는 경우, 분리막 모듈 내부의 압력을 고르게 유지하여 분리막 모듈 내부에서 발생할 수 있는 압력차이를 최소화할 수 있다. 이에 따라, 감압에 의해 불화가스를 분리 시 높은 효율로 불화가스를 분리할 수 있다. | ||
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