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결정화된 반도체 입자의 증착을 위한 반도체 소자 제조 장치 및 방법
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 이효창 |
| 기술내용 | 본 발명은 반도체 소자 제조 장치에 관한 것으로서, 플라즈마를 발생시키기 위한 챔버, 기판을 지지하는 기판 지지부, 상기 기판 상에 반도체층을 증착하기 위한 반응가스 또는 전구체를 상기 챔버 내에 주입하는 가스 주입부, 상기 챔버 내에 플라즈마를 발생시키기 위한 제1 RF 전력 공급부, 상기 챔버 내에 플라즈마가 발생하는 공간과 상기 기판 사이에 그리드 구조물을 포함하고, 상기 그리드 구조물에 소정의 시간동안 음의 전압을 공급하여 상기 챔버 내의 상기 플라즈마가 발생하는 공간에 생성된 반도체 입자가 포획되고 결정화되는 것을 특징으로 한다. | ||
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