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그래핀 나노메쉬의 제조 방법
| 대표분류 | 화학 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 탄소소재 | ||
| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 장원석 |
| 기술내용 | 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 나노메쉬의 제조 방법은 도트 렌즈 마스크를 제조하는 단계, 기판 위에 그래핀 및 감광막을 차례로 형성하는 단계, 상기 도트 렌즈 마스크를 이용하여 상기 감광막을 노광시켜 상기 감광막에 도트 패턴을 형성하는 단계, 상기 감광막의 도트 패턴을 이용하여 식각 공정을 진행하여 상기 그래핀에 나노메쉬를 형성하는 단계를 포함할 수 있다. | ||
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