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실리콘 아미노아미드 이미드 화합물, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법
| 대표분류 | 화학 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 유기-금속 화합물 또는 유기 화합물 | ||
| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 박보근 |
| 기술내용 | 본 발명은 열적 안정성과 휘발성이 개선된 신규한 실리콘 아미노아미드 이미드 화합물에 관한 것으로, 상기 실리콘 아미노아미드 이미드 화합물을 이용하여 낮은 온도에서 우수한 성장 속도로, 쉽게 양질의 실리콘 질화물 박막을 제조하는 방법 및 이를 통해 제조된 실리콘 질화물 박막을 제공할 수 있다. | ||
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