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13족 금속 전구체, 이를 포함하는 박막증착용 조성물 및 이를 이용하는 박막의 제조방법
| 대표분류 | 화학 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 유기-금속 화합물 또는 유기 화합물 | ||
| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 박보근 |
| 기술내용 | 본 발명의 13족 금속 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막의 제조방법을 제공하는 것으로, 본 발명의 13족 금속 전구체는 상온에서 액체로 존재함으로써 취급이 용이하며, 휘발성 및 열안정성이 높아 이를 이용하여 쉽게 양질의 13족 금속 함유 박막을 제공할 수 있다. | ||
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