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전이금속 함유 전구체, 이의 제조방법 및 이의 용도
| 대표분류 | 화학 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 유기-금속 화합물 또는 유기 화합물 | ||
| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 박보근 |
| 기술내용 | 본 발명은 전이금속 함유 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 전이금속 함유 전구체는 열적 안정성과 휘발성이 개선되어 낮은 온도에서도 쉽게 양질의 코발트 산화물 또는 망간 산화물을 포함하는 박막의 제조가 가능하다. | ||
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