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줄 히팅을 이용한 그래핀 제조방법
| 대표분류 | 화학 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 탄소소재 | ||
| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 정현준 |
| 기술내용 | 본 발명은 줄 히팅을 이용한 그래핀 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 챔버 내부에 배치되는 한쌍의 전극 양측에 촉매금속을 배치하는 촉매금속 배치단계; 상기 챔버 내부로 탄소를 함유한 반응가스 및 상기 반응가스를 운반하는 캐리어가스를 공급하는 가스 공급단계; 그래핀 합성에 필요한 합성온도까지 상기 촉매금속의 온도를 빠르게 가열하기 위하여, 상기 촉매금속의 온도를 상승시키는 승온단계; 상기 촉매금속에 상기 그래핀을 합성하기 위하여, 상기 촉매금속의 온도를 유지시키는 등온단계; 및 상기 촉매금속에 형성되는 상기 그래핀에 국부적으로 핫스팟이 발생되는 것을 제어하기 위하여, 상기 촉매금속의 온도를 하강시키는 냉각단계;를 포함하고, 상기 승온단계와, 상기 등온단계 및 상기 냉각단계를 1사이클로 구성하고, 기설정된 공정시간 범위 내에서 상기 1사이클이 반복적으로 수행되는 것을 특징으로 하는 줄 히팅을 이용한 그래핀 제조방법을 제공한다. | ||
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