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인덕션 히팅을 이용한 웨이퍼 단위의 그래핀 연속 합성 장치 및 방법
| 대표분류 | 화학 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 탄소소재 | ||
| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 김상민 |
| 기술내용 | 본 발명은 인덕션 히팅을 이용한 웨이퍼 단위의 그래핀 연속 합성 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 외부와 밀폐되도록 형성되는 메인 챔버, 상기 메인 챔버에 형성되어 그래핀 합성에 필요한 가스들을 공급하는 가스공급부 및 가스를 배출하는 가스배출부, 상기 메인 챔버의 양측에 형성되어 메인 챔버 내부로 웨이퍼를 공급하는 공급 챔버 및 웨이퍼가 회수되는 회수 챔버, 및 상기 메인 챔버를 통과하는 웨이퍼들의 하측에 일정거리 이격되게 형성되는 인덕터를 포함하여 이루어지며, 상기 웨이퍼는 상면에 금속 촉매층이 형성되어 상기 인덕터에 의해 급속으로 가열되어 웨이퍼 단위로 그래핀을 빠르고 연속적으로 합성할 수 있는 인덕션 히팅을 이용한 웨이퍼 단위의 그래핀 연속 합성 장치 및 방법에 관한 것이다. | ||
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