인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치
대표분류 | 성형(연삭, 주조, 가공 등) | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
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기술테마 | 탄소소재 | ||
연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 김상민 |
기술내용 | 본 발명은 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 외부와 밀폐되게 형성되는 메인 챔버; 상기 챔버의 양측에 구비되어 기판의 양단이 연결되어 권취되며, 상기 기판이 메인 챔버 내부를 통과하도록 형성되는 공급롤 및 회수롤; 상기 메인 챔버에 구비되어 상기 메인 챔버 내부를 통과하는 기판을 유도 가열하는 인덕터; 상기 메인 챔버의 일측에 형성되어 메인 챔버 내부로 탄소를 포함한 가스를 공급하는 가스 공급부; 및 상기 메인 챔버의 일측에 형성되어 메인 챔버 내부의 가스를 배출하는 가스 배출부; 를 포함하여 이루어져, 롤투롤 방식으로 기판을 이송하여 밀폐된 메인 챔버 내부를 통과시키면서 인덕터에 의한 유도 가열로 기판을 가열 및 가스를 공급하고 냉각시킴으로써 기판에 그래핀을 연속적으로 합성할 수 있는 인덕션 히팅을 이용한 롤투롤 방식의 그래핀 연속 합성 장치에 관한 것이다. | ||
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