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반도체 제조 공정을 위한 전구체의 실시간 증기압 측정 시스템 및 이를 이용한 방법
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 윤주영 |
| 기술내용 | 본 발명은 반도체 제조 공정에 있어서 화학 증착법에 이용되는 전구체의 증기압을 실시간으로 측정하기 위한 측정 시스템 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 반도체 제조공정을 위한 전구체의 실시간 증기압 측정 시스템에 의하면, 온도변화에 따른 전구체의 석출 및 전구체의 미소 탈기에 따른 압력 변화의 가능성을 현저하게 줄임으로써 보다 정확한 증기압을 실시간으로 측정할 수 있는 특징이 있다. 이에 따라 획득되는 증기압 관련 열역학적 데이터는 화학 증착법을 사용하는 반도체 제조공정 등에서 유용하게 활용할 수 있다. | ||
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