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반도체 제조 공정을 위한 전구체 증기압 측정장치 및 방법
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 윤주영 |
| 기술내용 | 본 발명은 전구체 시료의 석출 및 탈기를 제어하도록 단열 격벽체로 격리된 내실에 등압유지 챔버 및 압력 측정부를 설치한 구조를 포함하는 반도체 제조공정을 위한 전구체 증기압 측정장치 및 방법에 관한 것으로, 전구체 시료가 담긴 시료용기; 상기 시료용기에 관연결되는 압력 측정부; 상기 시료가 증발되어 압력 측정부로 유입될 수 있도록 밸브 및 등압유지챔버로 구성되고, 기본 진공유지 및 오염원 제거를 위한 등압유지챔버에 연결된 메인 펌핑부를 포함하고; 상기 측정과정중 시료의 분해상태를 모니터링하기 위해 상기 시료용기에 부착되는 센서를 더 포함하며; 상기 센서의 센싱신호를 기초로 전구체의 분해상태를 체크하여 일정기준치 이상의 분해상태에 도달할 경우 메인 펌프의 작동을 중지시키도록 지령을 내리는 퍼지기체 및 센서 제어부를 포함하여 이루어지며; 상기 시료 용기 및 압력 측정부는, 유동 위치에 관계없이 상기 시료의 항온이 유지되도록 단열 격벽체의 내실에 밀봉/배치되는 것이 특징이다. | ||
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