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다파장을 이용한 위상 천이 간섭계
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 김재완 |
| 기술내용 | 본 발명은 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계에 관한 것이다. 보다 상세하게는 파장이 서로 다른 파장을 갖는 레이저를 동시에 발진시켜서, 이를 빔 스플리터 및 렌즈를 이용하여 측정물체의 간섭무늬를 분석함으로써, 측정 물체의 정밀 형상을 보다 신속하게 측정할 수 있는 다파장을 이용한 위상 천이 간섭계에 관한 것이다. | ||
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