| 기술내용 |
본 발명은 열악환경을 조성하고 분광수단을 이용해 액상 전구체의 상태를 모니터링 하는 위한 진단장치 및 진단방법에 관한 것이다. 상세하게 본 발명의 진단장치는 액상의 유기금속 전구체가 담긴 용기(110); 상기 용기(110)에 상기 유기금속 전구체에 잠기게 배관되어 반응 기체 또는 상기 유기금속 전구체를 버블링하여 기화시키는 불활성 기체를 주입하기 위한 주입 파이프(120); 상기 용기(110)에 상기 유기금속 전구체 액상 위에 놓이도록 배관되어 기화된 상기 유기금속 전구체가 포함된 기체를 배출하기 위한 배출 파이프(130); 상기 용기(110) 외부에 구비된 온도 조절부(141), 진동발생기(142), 초음파 발생기(143) 및 주입 파이프(120)를 포함하는 열악환경 조성부(140); 상기 용기(110)에 구비된 분광수단(150)을 포함하여 구비되는 특징이 있다. 본 발명에 따른 액상 전구체의 상태를 모니터링 하는 위한 진단장치 및 진단방법은 열악환경 조성하여 이에 대한 전구체 저항성을 실시간으로 모니터링 할 수 있으며 외부에 포집장치 및 분석장치를 설치하여 실시간으로 전구체를 정밀 분석 할 수 있다. |
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