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반응공정 진단 구조체

반응공정 진단 구조체 상세정보
대표분류 전기소자 구분 소재부품장비 기술분야
기술테마 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 강상우
기술내용 본 발명은 각종 화학물질이 사용되는 반응공정시, 반응로에서 배출되는 부산물에 포함된 각종 화학물질의 성분을 분석하여 공정을 조절할 수 있도록 하는 반응공정 진단 시스템에 사용되는 반응공정 진단 구조체에 관한 것이다.
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