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반도체 코팅설비의 오염 진단장치 및 진단방법
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 윤주영 |
| 기술내용 | 본 발명은 제1전극 및 상기 제1전극과 이격되게 설치되는 제2전극을 구비하여, 내부에 플라즈마를 발생하는 진공 챔버부; 상기 제1전극 및 제2전극의 사이에 위치하는 코팅부품 장착부; 상기 진공 챔버부와 연결설치되어, 상기 진공 챔버 내의 오염 입자를 집속하는 입자 집속부; 상기 입자 집속부와 연결설치되어 상기 오염입자의 성분을 검출하는 입자성분 검출부; 및 상기 입자 집속부와 연결설치되어 상기 오염입자의 오염정도를 측정하는 입자 측정부; 를 포함하는 반도체 코팅설비의 오염 진단장치에 관한 것이다. 본 발명은 반도체 코팅설비의 오염 진단장치를 이용하여 코팅부품을 진단하는 반도체 코팅설비의 오염 진단방법에 관한 것이다. | ||
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