본문 바로가기
전체메뉴닫기
반도체 제조용 반응공정 진단시스템
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 윤주영 |
| 기술내용 | 본 발명은 반도체 제조공정 중 화학물질이 이용되는 반응공정에 있어서, 반응로에서 배출되는 부산물의 성분을 분석하여 공정의 진행상태를 모니터링할 수 있도록 한 반도체 제조용 반응공정 진단시스템에 관한 것이다. 이에 본 발명은, 반도체 제조공정 중 각종 화학물질이 포함된 반응가스가 내부로 주입되는 반응로와, 상기 반응로에서 발생된 부산물을 외부로 배출하는 배출관 및 펌프와, 상기 배출관에 설치되어 상기 부산물에 포함된 각종 화학물질의 성분을 분석하여 디스플레이하는 성분 분석부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기와 같은 진단시스템을 제공함으로써, 반응의 진행상태를 파악하여 원활한 반응을 유도할 수 있을 뿐만 아니라, 반응성이 높은 화학물질의 배출로 인한 배출관 및 펌프의 부식등을 최소화할 수 있는 효과를 가진다. | ||
| 자료집 | 다운로드 | ||