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반도체 제조공정을 위한 전구체 순도 측정방법
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 윤주영 |
| 기술내용 | 본 발명은 반도체 제조공정을 위한 화학물질의 증기상 순도 측정방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 전구체 시료의 석출 및 탈기를 제어하도록 단열격벽체로 격리된 내실에 등압유지챔버 및 압력 측정부를 포함하는 반도체 제조공정을 위한 전구체 순도 측정장치 및 그 방법에 관한 것이다. 따라서, 본 발명은 온도 변화에 따른 전구체 화학물질의 증기상 순도를 측정하고, 전구체 화학물질의 증기상 순도의 오차 범위를 줄여 정확한 수치를 측정하며, 전구체의 분해상태를 감시하며, 전구체 증기압 및 화학물질의 증기상 순도를 이용함으로써, 다양한 원료물질을 반도체 제조공정의 특성에 맞게 적절하게 선별하는 효과가 있다. | ||
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