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컷오프 프로브를 이용한 정자기장 측정 방법
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 유광호 |
| 기술내용 | 본 발명의 외부 정자기장 측정 장치 및 측정 방법을 제공한다. 이 외부 정자기장 측정 방법은, 외부 정자기장 하에서 플라즈마 내부에서 상기 외부 정자기장과 나란히 연장되는 한 쌍의 제1 방사 안테나와 제1 수신 안테나를 구비하는 제1 컷오프 프로브를 삽입하는 단계; 상기 제1 컷오프 프로브를 회전시키어 플라즈마 공명 주파수가 최대가 되는 제1 각도를 결정하는 단계; 외부 정자기장 하에서 플라즈마 내부에서 상기 외부 정자기장에 수직하게 연장되는 한 쌍의 제2 방사 안테나와 제2 수신 안테나를 구비한 제2 컷오프 프로브를 삽입하는 단계; 상기 제2 컷오프 프로브를 회전시키어 플라즈마 공명 주파수가 최소가 되는 제2 각도를 결정하는 단계; 및 상기 제1 각도에서 측정된 제1 플라즈마 공명 주파수와 상기 제2 각도에서 측정된 제2 플라즈마 공명 주파수를 이용하여 상기 외부 정자기장의 세기를 산출하는 단계를 포함한다. | ||
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