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초고주파 플라즈마 진단 장치
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 유신재 |
| 기술내용 | 본 발명은 초고주파 플라즈마 진단 장치를 제공한다. 이 초고주파 플라즈마 진단 장치는 동축 케이블 구조에서 외부 도선 및 유전체층이 제거되어 초고주파를 플라즈마에 방사하는 방사 탐침, 동축 케이블 구조에서 외부 도선 및 유전체층이 제거되고 방사 탐침에서 방사되어 플라즈마를 투과한 초고주파를 검출하는 검출 탐침, 방사 탐침 및 검출 탐침을 감싸고 방사 탐침의 축 방향으로 개방된 개구부를 포함하고 망사 구조를 가지는 전자기 차폐부, 및 방사 탐침에 가변 초고주파 신호를 제공하고 상기 검출 탐침으로부터 상기 플라즈마를 투과한 가변 초고주파 신호를 수신하여 분석하는 스펙트럼 분석부를 포함한다. | ||
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