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초고속 레이저를 이용한 휠 선단부의 미세 노치 제작 장치 및 방법

초고속 레이저를 이용한 휠 선단부의 미세 노치 제작 장치 및 방법 상세정보
대표분류 성형(연삭, 주조, 가공 등) 구분 소재부품장비 기술분야
기술테마 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 정세채
기술내용 본 발명의 목적은 취성 재료 절단에 사용되는 도구로서 휠 선단부에 다수 개의 미세 노치가 형성되어 있는 스크라이빙 휠을 제작하는 장치 및 방법으로서, 레이저를 이용하여 노치를 형성함으로써 비접촉식 공정을 실현하는, 초고속 레이저를 이용한 휠 선단부의 미세 노치 제작 장치 및 방법을 제공함에 있다. 본 발명의 초고속 레이저를 이용한 휠 선단부의 미세 노치 제작 장치는, 휠(500)의 선단부(510)에 다수 개의 미세 노치(520)를 제작하는 장치(1000)로서, 초고속 레이저를 조사하는 레이저 조사부(100); 상기 레이저 조사부(100)에서 조사되는 레이저 빔의 광경로 상에 상기 휠(500)의 선단부(510)가 배치되도록 상기 휠(500)을 수평 이동, 수직 이동 또는 회전 이동시키는 휠 이동부(200); 를 포함하여 이루어져, 상기 레이저 조사부(100)에 의하여 조사되는 레이저 빔에 의하여 상기 휠(500)의 선단부(10)에 상기 노치(520)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
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