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처짐 감지 장치

처짐 감지 장치 상세정보
대표분류 측정/검사/시험 구분 소재부품장비 기술분야
기술테마 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 윤주영
기술내용 본 발명은 디스플레이, 반도체, 태양전지 등 공정챔버내 부품들의 처짐에 따른 변형을 실시간으로 측정할 수 있는 검사 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 처짐 감지 장치에 따르면, 시간이 지남에 따라 처짐 현상이 발생하는 부품들을 실시간으로 모니터하여, 부품의 변형으로 발생되는 각종 공정이슈들을 사전에 방지할 수 있는 효과가 있다.
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