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진공펌프의 트렌드 관측 및 진단분석 기법과 그 관측 및분석 기법 시스템 및 상기 기법을 수행하는 컴퓨터프로그램을 포함하는 컴퓨터가 판독 가능한 저장매체
| 대표분류 | 기계 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
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| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 정완섭 |
| 기술내용 | 능동 진단 알고리즘과 같은 본 발명은 펌프를 고장으로부터 보호하기 위한 진공펌프의 성능 저하의 초기 감지 실현화 뿐만 아니라 진공펌프의 예보유지를 위해서도 개발되었다. 본 발명에 따르면, 펌프 간 작동 특성들과 다중 공정 조건들의 큰 변동성으로부터 발생하는 기술적 문제들, 특히 반도체 제작 공정에서의 기술적 문제들을 다루기 위한 단순하고 효율적인 방안이 가능해진다. | ||
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