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정적형 유량계를 이용한 소닉 노즐 유출계수 교정 장치 및 방법

정적형 유량계를 이용한 소닉 노즐 유출계수 교정 장치 및 방법 상세정보
대표분류 측정/검사/시험 구분 소재부품장비 기술분야
기술테마 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 정완섭
기술내용 본 발명은 정적형 유량계를 이용한 소닉 노즐 유출계수 교정 장치에 관한 것으로서, 본 발명의 목적은 소닉 노즐의 유출계수 교정 값을 얻어냄으로써 동일한 소닉 노즐을 가지고도 높은 정확도로 미소 유량을 측정할 수 있게 해 주는, 정적형 유량계를 이용한 소닉 노즐 유출계수 교정 장치를 제공함에 있다. 본 발명의 정적형 유량계를 이용한 소닉 노즐 유출계수 교정 장치는, 소닉 노즐(50)의 유출계수 교정 값을 산출하는 유출계수 교정 장치(10)에 있어서, 유입 유체가 흘러가는 방향에 따라, 유입 유체가 유입되는 방향을 전단, 유입 유체가 배출되는 방향을 후단이라 할 때, 정적형 유량계(11); 상기 정적형 유량계(11)의 전단에 구비되는 유량 차단 밸브(14); 상기 정적형 유량계(11)의 후단에 구비되는 흡입 차단 밸브(15); 를 포함하여 이루어져, 상기 유량 차단 밸브(14)의 전단에 상기 소닉 노즐(50)이 연결되고, 상기 흡입 차단 밸브(15)의 후단에 진공 펌프(55)가 연결되며, 상기 소닉 노즐(50)의 전단인 제1측정점(①)에 구비된 전단 압력/온도 측정부(121)에 의해 측정된 압력 및 온도 값과, 상기 정적형 유량계(11) 내인 제2측정점(②)에 구비된 챔버 내 압력/온도 측정부(122)에 의해 측정된 압력 및 온도 값을 사용하여 상기 소닉 노즐(50)의 유출계수 교정 값을 산출하는 것을 특징으로 한다.
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