본문 바로가기
전체메뉴닫기
전구체의 증기압 측정장치 및 방법
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 윤주영 |
| 기술내용 | 전구체 시료가 담겨있고 양측에 히터를 구비하고 있는 시료용기(300); 상기 시료용기(300)내에 연결되어 압력을 측정하는 압력 측정부(400); 유로에 의해 시료용기(300)와 연결되는 화학증착챔버(100); 상기 화학증착챔버(100)에 연결된 압력 조절부(200); 및상기 유로에 설치되는 제1밸브(500) 및 제2밸브(600)를 포함하는 전구체 증기압 측정장치에 관한 것이다. 또한 전구체 증기압 측정 장치를 이용하여 전구체 증기압을 측정하는 방법에 관한 것이다. | ||
| 자료집 | 다운로드 | ||