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전구체 샘플링 장치, 및 이를 이용한 전구체 샘플 분석방법
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 윤주영 |
| 기술내용 | 본 발명은 수용된 액상의 전구체가 기화되는 전구체 용기, 상기 전구체 용기로부터 기화된 전구체가 공급되는 샘플링 모듈, 및 상기 전구체 용기로부터 기화된 전구체가 유입되어, 내부에 안착된 웨이퍼에 화학 증착 공정이 수행되는 반응기를 포함하되, 상기 전구체 용기에서 기화된 전구체는 선택적으로 상기 샘플링 용기 또는 상기 반응기로 공급되는 전구체 샘플링 장치를 개시한다. | ||
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