| 기술내용 |
본 발명은 주기적으로 변하는 광신호 세기에 대해 적분형 광검출기(integrating photometric detector)로 실시간 측정하였을 때에 그 파형을 분석하는 종래의 방법에서 연산식의 복잡성, 판독시간(read time)에 대한 근사보정, 적분시간(integration time)의 제한적 가변성 등의 문제점들을 개선하기 위하여 안출된 것으로, 임의의 적분시간과 특정한 판독시간에 대해서 온전하게 보정된 노광량 계산법과 이산 푸리에 변환(discrete Fourier transform)을 사용함으로써 근사없이 정규화된 푸리에 계수(normalized Fourier coefficient)를 구하는 방법을 제시한다. 본 발명을 반도체 및 디스플레이 산업체에서 많이 사용되고 있는 광부품 회전형 타원계측기에 적용한다면 광세기에 따라서 적분시간이 조절 가능하여 최적의 조건에서 측정할 수 있으며 약 2배 정도 빠른 측정이 가능하다. 본 발명을 산업체에서 활용할 경우에 고속측정이 가능하므로 생산성이 증대되며 보다 정확한 데이터 획득방법을 사용하였으므로 종래의 기술 보다 신뢰성이 향상되는 장점들이 있다. |
본문 바로가기
전체메뉴닫기
