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대량생산이 가능한 이중 게이트 ISFETs 바이오센서
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 기업혁신 성장분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 헬스메디케어 | ||
| 연구기관 | 한국과학기술연구원 | 연구자 | 이관희 |
| 기술내용 | 하부 실리콘층은 하부 게이트로 작용하고, 게이트 패턴은 상부 게이트로 작용하여, 이중 게이트(dual gate)로써 작동할 수 있음 길이가 정확하게 정의되고, 플랫(plat)한 채널 영역을 구현함으로써, 전자의 이동에 수반되는 스캐터링을 최소화하여 노이즈가 저감된 전계 효과 트랜지스터 적용 게이트 퍼스트 공정을 적용함으로써 포토리소그래피 공정 감소 및 채널 길이 정의 가능 |
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