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플라즈마 상태 진단 방법 및 장치

플라즈마 상태 진단 방법 및 장치 상세정보
대표분류 전기전자 구분 기업혁신 성장분야
기술테마 초연결네트워크
연구기관 한국핵융합에너지연구원 연구자 송중호
기술내용 광학발광분석(OES)장치 전체 데이터를 입력 및 분석 할 수 있는 데이터 변환 기술을 보유
다양한 공정 상태 및 공정 조건에 적용 가능한 데이터 변환 및 조합 기술 보유
광학발광분석(OES)장치의 보정 및 추가 처리 없이 머신러닝 입력 데이터로 생성 할 수 잇는 기술 보유
광학발광분석(OES) 데이터로부터 플라즈마 물리량(밀도, 온도) 변환 기술 보유
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