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금속관의 내벽 코팅

금속관의 내벽 코팅 상세정보
대표분류 도금 구분 기업혁신 성장분야
기술테마 환경재해대응
연구기관 한국과학기술연구원 연구자 한승희
기술내용 마그네트론 스퍼터링 코팅 공정에 필요한 자기장을 금속관 외부에 장착한 펄스 전자석을 이용하여 펄스 자기장 형태로 발생
스퍼터링 타겟 금속관에 고전압의 음(-)의 펄스 전압을 펄스 전자석에 의해 발생된 펄스 자기장 인가
금속관 내벽 주위에 플라즈마를 발생시켜 마그네트론 스퍼터링 코팅이 가능
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