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선형이온소스 및 표면처리 기술

선형이온소스 및 표면처리 기술 상세정보
대표분류 전기소자 구분 사업화 유망기술
기술테마 전기소자
연구기관 한국재료연구원 연구자 김도근, 이승훈, 김종국, 남경훈, 김태엽
기술내용 강판 및 폴리머 표면처리용 광폭(1.5m급) 선형 이온빔 발생기 설계/제작 기술
선형 이온빔 적용 표면 Etching, 표면 개질 및 증착 플라즈마 공정 기술
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